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第七百八十五章 光刻机的技术之墙得用水泡!

    之前的猛士车,虽然也叫做混动,但是全部都是电驱,燃油发动机只用来发电,动力系统类似于串联,现在发动机和电动机一起发力,这就类似于并联,而燃油发动机和电动机的扭矩爆发之类的是不一样的,把两者结合到一起,就需要先进的匹配能力了。
    此时,协议已经签署完毕,在场的众人都一起鼓掌,一名穿着海军制服的军官走上来。
    “秦总,贵方能将一两千转的燃油发动机和上万转的电动机给匹配到一起,是不是说,也能将一两千转的燃油发动机和上万转的燃气轮机给匹配到一起了?”
    “郑老,您觉得呢?”秦锋笑呵呵地看着面前的郑明。
    柴油机省油,但是力气小,燃气轮机费油,但是功率足,所以,海军主力军舰的动力,已经过渡到了柴燃交替上。
    所谓交替,就是低速的时候用柴油机,高速的时候用燃气轮机,两者为何不一起发力?
    就是刚刚的这个问题:一两千转的柴油机和动辄上万转的燃气轮机,怎么并车?其中遇到的问题有很多!
    世界上也有少数柴燃联合的动力,但是毫无疑问,都需要复杂的齿轮箱,还得要求加工的精度相当高,国内目前还做不到。
    “别人不行,但是,你们太平洋集团肯定有办法!”
    “是的,咱们当然有办法,不过,不是机械连接的方式,而是用电力来连接。”
    “全部发电?”郑明当然知道,西方已经开始搞综合电力系统了,不过……国内才刚刚解决军舰的心脏病问题,暂时还顾不上那么多。
    “没错,全部发电,然后把电力并到一起,随着技术的发展,军舰的耗电量也是越来越大,把所有的能源都用来发电,供给各个子系统,这样是最好的选择。”
    别的不说,目前搞的四面相控阵雷达,那就绝对是耗电大户!美国佬的宙斯盾系统,如果一直开着相控阵雷达的话,那军舰的续航能降低一两千海里!
    消耗的电力很多,那动力系统也得有同样高的发电能力,但是平时还用不了这么多电力,就会浪费。
    解决的办法,就是全舰综合电力系统!
    低速航行,开柴油机带动,高速航行,根据需要增加一台燃气轮机,战时需要大量的电力供应,再把第二台燃气轮机打开,全部动力都用来供电,雷达、推进系统都能满足!
    “没错,这是最好的选择,秦总……”郑明看向秦锋:“我代表海军,请求你们太平洋集团帮忙研发这种系统。”
    “咳咳……”秦锋对于请求这个词,非常的诧异:“我们……”
    “秦总,您可不能推辞。”
    “好吧,不推辞。”秦锋原本还想说,我们太平洋集团只生产民品,但是现在要说的话,十有八九会挨揍啊!
    目前,矿山车之类的都在紧锣密鼓的研发之中,大功率的驱动电机技术也在慢慢成熟,电力的分配系统也在成熟,给海军研制这种系统,应该不是特别困难,更何况,咱们还有了氮化镓组件,提升功率轻轻松松。
    这些看上去和电子设备没关系,实际上,还是因为咱们的电子发展迅猛的原因!毕竟,动力系统的匹配,都是需要电子设备的指挥的。
    接到了这个任务,秦锋也没有觉得压力大,转手交给集团旗下相关部门就可以了,至于海军的拨款……哪怕不给拨款也得干啊。
    于是,开完了会议,秦锋就来到了高科技研发中心,得到了任务,大家伙立刻就拍着胸脯保证,小问题,尽快搞定!
    “徐教授,你有事?”看着徐教授那欲言又止的样子,秦锋开口问道。
    “秦总,目前咱们的芯片加工水平已经发展到了0.18微米,我们继续向新一代的光刻机研发,在这个过程中,我们遇到了技术瓶颈。”此时的徐教授,脸上带着尴尬。
    当初,秦总慧眼识珠,投资徐教授的光刻机,之后,国产光刻机技术就开始爆发了,一直都领先整个世界。
    但是现在……己方在这里举步不前,那国产芯片技术,就要被国外逐渐追赶上来,甚至还有被反超的可能。
    这段时间,徐教授非常着急,头发都白了!
    今天,秦总既然过来了,那就给他汇报一下吧,万一秦总有什么好主意呢?
    “光源问题?”秦锋倒是想到了什么,开口问道。
    “没错,就是光源问题!”徐教授兴奋地说道:“随着光刻机技术的进步,我们需要的激光光源,波长也会越来越小,现在,新一代激光光源,遭遇了很大问题。”
    芯片制造中,最关键的就是光刻,这需要激光光源!
    这些年来,激光光源在不断进步,从436纳米的 g-line,到365纳米的 i-line,再到248纳米 krf,目前使用的是193纳米的 arf光源,这条路一直走得很通畅,但是,到了193纳米之后,就开始遇到问题了!
    “按照技术路线,接下来就轮到157纳米的f2光源了,但是这个光源的问题很大。”徐教授说道:“这种波长下,熔石英的吸收很大,没法用熔石英来做透射式系统,目前业界的期待是用caf2来做,但是,依旧会遇到双折射的问题……咱们卡在这里已经半年多了……”
    己方原地踏步,国外在追赶,用不了多久,就会被国外追上了!徐教授很着急!
    在后世,秦锋也并不知道这个157纳米的光源为啥不能用,但是他知道,尼康赌这个系统,然后失败了,而当时无数次濒临破产的asml,把制胜的法宝押在了林本坚的浸润式光刻机上,于是成功了。
    所以……这还用说吗?
    “既然这种光源有问题,那就不要用了。”
    “那我们用什么?”徐教授的目光中带着焦虑。
    “还用之前的193纳米。”
    徐教授睁大了眼睛,不可思议地看向秦锋,秦总,这个光源不够用啊!
    不过……秦总既然这么说了,肯定有他的道理,还是听一听他怎么说。
    “将这个光源穿过去离子水,水的折射率是多少来着?这样一换算,应该能将波长降低到130纳米左右吧?”
    徐教授深深地呼吸了一口气,一旁的倪老已经开口了:“换算过来,是133纳米,这样比157纳米的光源还要小,但是……”
    徐教授的脸上带着苦笑:“秦总,咱们的光刻机里是有电路的,您要在光刻机里加水……”
    这听上去,有些扯淡啊!
    秦锋笑了笑,林本坚当年在硅谷介绍这种技术的时候,所有人都以为他是在扯淡,毕竟之前的光刻机都是干式的,要在里面加水?脑子进水了吧?
    只有那个即将破产的asml,决定押这种技术,然后,asml就发展成为了世界第一光刻机大厂,苦心钻研157纳米光源的尼康,就彻底落后了!
    “听我的,没有错,早期光刻机还是用液压驱动的,里面的液压油,不也是液体的吗?”
    最开始的光刻机,还真是液压驱动,万一,万一中的万一,管道崩了,那液压油肯定会喷射的到处都是,正在生产中的所有芯片都会报废。所以后来,都改成了电机驱动。
    不过,当时高压的液压油都敢用,现在用一些水,有何不可?
    “既然秦总确定,那我们就用这种技术,不过……这也只能解决暂时的问题,继续提升工艺,还是会遇到拦路虎。”
    193纳米经过折射变成了133纳米,也就意味着,0.13微米的工艺能解决了,之后进入纳米时代呢?还是会遇到光刻机的光源问题的!
    “接下来,一步到位,开发euv光刻机,光源使用13.5纳米的极紫外波长。”
    徐教授一阵惊讶:“这也太快了吧?”
    “一步步来,还会不断地遇到技术难题,还不如加大攻关难度,将这个捣鼓出来,以后十年二十年,都不用担心光源问题了。”
    秦锋不懂具体的技术细节,但是他懂技术的发展路线,仅仅是这个,就会让己方的技术遥遥领先对手了。
    在光刻机的技术探索上,有很多失败的例子,尼康的157纳米是个坑,同时,还有光刻机生产厂研究过126纳米光源,但是,这个波长更奇葩,不仅仅是熔石英会吸收,任何材料的吸收都很厉害,透镜不能用,只能用全反射的方式,结构跨度太大,分辨率也没提升多少。
    所以,后世的光刻机厂商各种研究,最终认为,干脆一步到位,上13.5纳米的光源。
    这个光源的研究,也是经过了长时间的尝试的,甚至最初还是13.4纳米,各种研究之后,才锁定13.5纳米。
    “这个光源……”徐教授仔细地思考了一番:“得在真空中,还得是反射结构。”
    反正继续向下选,各种光源都是需要真空环境加反射镜的,和之前的结构完全不同,所以,一步到位!
    寻找反射的条件也不容易,最终工程师们找到了反射率最高的mo-si布拉格反射器,一层mo薄膜加上一层si薄膜,它的最高反射率在13.5纳米波长的位置,于是,这种光源就被确定了下来。
    其他的技术路线,x光之类的,都被超越了。
    不过,最初的时候,精度并不是特别高,只是比193浸润式光刻机提升了三倍而已,就算是这样,过渡到纳米时代也没问题了,之后不断研究,提升分辨率就可以了。
    “具体的结构你们来选择,具体的技术难关,你们来攻克,不过,这条技术路线绝对是没问题的,你们按照这条路线发展就可以!”
    秦总虽然是个外行,但是每次提出来的建议都是非常正确的,所以,徐教授没有继续犹豫,点头说道:“好,秦总,那我们就按照这个技术路线来!”
    其中有多少技术难题,秦锋也不知道,这是手下们要干的!
    现在,总算是没问题了吧?
    看到徐教授依旧皱着眉头的样子,秦锋继续问道:“徐教授,还有问题?”
    “目前,尼康正在研究193纳米光刻机,据说研究顺利,台积电已经下了几台订单,用不了多久,台积电也将会向0.18微米工艺发起冲击,而我们……”
    秦锋皱着眉头,他最近一直忙活着造车等业务,高科技这一块,从来没输过,所以就没太多关注。
    按说台积电应该走下坡路才对,没想到,居然又活过来了?
    “台积电后来又从硅谷挖了一批人过来,尤其是蒋尚义,他是个技术天才,继续领导台积电。”
    台积电能成为后世的庞然大物,那也是有资本的,林本坚、杨光磊、蒋尚义、孙元成、梁孟松、余振华六个技术大能,就是台积电最强悍的人,而台积电的真正发迹,也就是打赢了0.13微米制程这场仗。
    将铝互联变成铜互联,使用浸润式光刻机,解决漏电问题……这几个人功不可没。
    其中,蒋尚义是在97年才加入进来的,而且,一屁股就坐到了研发副总的位置上,以至于引来了内斗,其中一部分人离开,有的去了三星,有的去了中芯国际,然后台积电就开始玩起来了专利侵权的官司游戏来打击对手。
    现在,一部分技术大能走了,蒋尚义过来,居然成了台积电的一把手,领导台积电搞先进技术,还试图想要翻身?
    “没关系,他们搞他们的,我们搞我们的,我们搞竞争,那也是堂堂正正。”
    徐教授点头:“好。”
    看着众人离开的背影,秦锋看向了身边的邓小龙:“龙哥,盯住岛国的光刻胶企业,当他们出口arf光刻胶给台积电的时候……”
    岛国的电子产业,曾经是相当发达的,甚至把英特尔的内存制造业务都给挤黄了,这引起了硅谷的集体不满,然后,一通操作猛如虎,岛国的电子产业就衰落下去了。
    这并不意味着岛国就彻底和电子产业隔绝了,在某些领域里,岛国还是处于零点地位的,比如说光刻胶!
    芯片制造是个大工程,需要很多上游配套厂家,光刻胶就是其中之一。
    在晶圆放到光刻机上之前,需要在上面涂抹光刻胶,光刻机雕刻的,其实就是这层光刻胶,激光照射的地方,光刻胶就挥发了,然后就留下来了电路图,后面才是刻蚀机,按照光刻出来的电路图来刻蚀具体的电路。
    光刻胶的好坏,决定了芯片的成品率,同时,不同的光刻机,也对应着不同的光刻胶,毕竟,它得对这种光源最敏感才行。
    在后世,南棒国和岛国发生矛盾的时候,岛国就曾经断供光刻胶,让看似强大的三星瞬间陷入尴尬境地。
    实际上,光刻胶这东西虽然有难度,也并不是被岛国彻底垄断的,只要花费力气,肯定能搞出来。
    但是……所谓全球产业链,将很多芯片企业给锁死了,岛国的光刻胶,供应了全世界,于是就有了足够多的订单来分摊研发成本,其他企业想要涉足这个市场,那就意味着要面临亏本的境地,这对资本世界来说,明显是不合适的。
    就拿2022年的数据来说,半导体规模为5735亿美元,而光刻胶只有22亿美元左右,不到百分之一,没必要投入巨资研发。
    但是……当发现被卡脖子之后,也会咬牙研究,比如说,三星被卡了之后,一口气投入了六万亿南棒元来研制,到了2022年,他们终于研究出来了euv光刻胶,成功地用到了生产线上。
    于是,岛国就尝到了曾经断供的恶果:南棒国的市场没了!
    现在,全球的光刻胶,几乎都被岛国的jsr、东京应化、信越化学、富士电子等企业所瓜分,岛国就算是芯片行业没落了,在半导体制造链里,依旧处于上游供应链的位置!
    当然,东方不会给岛国这个机会,东方的芯片产业,整个产业链都在国内,不用担心断供。
    不过,台积电等等芯片厂,不可能从大陆采购,哪怕岛国的贵,肯定也得从岛国采购。
    现在,台积电要玩0.18微米制程,那也得有合格的光刻胶!
    “嗯,没问题。”邓小龙说道:“我们在岛国的力量还是很强的,完全可以在中途动手脚。”
    秦锋摇头:“不,不,暂时只是监控。”
    监控?
    这下轮到邓小龙不解了。
    “先让他们攻克这种工艺,然后全世界的订单都会飞向台积电,然后,在他们签署下大批订单,开始量产的时候,我们再动手脚,光刻胶只是其中一环,接下来还有断水、断电等等,总之,让他们几个月里,生产不出合格的芯片来!这样一来,他们的合同到期,就是赔偿了!”
    这次,要彻底玩死台积电!
    邓小龙睁大了眼睛,秦总,您真黑啊!


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